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Genius Solution for SEMI-EQ. 

裝置耗材

装置の消耗品

パイプ関連装置の消耗品 Klaws

金属パイプの導電性、環境の湿気、酸性物質との接触で腐食するという弊害を解決しています。既存製品を60%軽量化しています。持ち運びの負担を軽減しています。特殊なノブ設計により、ツールを使用せずにパイプを固定できます。


製品の機能:

  • 環境腐食、湿気に強く、低発塵の材質で錆の問題も発生しません。

  • 廃材(廃棄物)はリサイクルでき、環境保護政策に準拠しています。

  • 軽量かつ絶縁性の材質のため、より便利で安全です。

  • 限られたスペースでも操作でき、ツールを使用せずにパイプを固定できます。

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パイプ関連装置の消耗品 HexaKap

設備とガスボックス(GAS BOX)の限られたスペースで継手を効果的に接続できるよう、溶接プロセスで継手の応力の一致性を巧みに制御しています。


製品の機能:

  • 構造破壊とは継手が安全性と機密性の要件を満たしていることを意味しています。破断溝設計により、破断口の一致性を実現するほか、破片の発生を抑えています。

  • VCR継手に目印をつけ、落下しないように結束バンドで固定しています。継手の締め付け具合は目視で検査できます。

  • VCR継手に目印と保護カバーをつけ、より識別しやすくしています。

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設備関連装置の消耗品 Space Slicer

当製品は設備のエンドパネルやウェハーなど高清浄度製品の搬送出入口の清潔度を維持し、製品に付着するパーティクル(Particle)を低減するために使用します。均一空気流発生装置により、倉庫システムの製品の出口と入口の環境を隔絶し、チャンバーの清潔度を維持しています。


製品の機能:

  • パーティクル(Particle)の付着を低減し、内側と外側の環境を隔絶しています。

  • 双方向の吸気と特殊な出口の設計により、均一の空気流を実現しています。

  • デュアルチャンバー設計により、電力と流量を安定させ、排気時の騒音を低減しています。

  • 設置が簡単で、ニーズに応じて長さをカスタマイズできます。

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