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    応用紹介

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    半導体ファブエンジニアリングでは、ポリマー材料(PTFE、PVDF、PVC、PP、EPDMなど)が広く応用されています。これらの材料は、優れた耐腐食性、高純度、耐熱性、耐薬品性を備えており、極めて重要です。ファブエンジニアリングにおいて、ポリマー材料(プラスチック、合成樹脂、ゴム)は、配管システム、防食プロジェクト、特殊ガス供給、化学薬品保存、電子工場のクリーンルーム設備などに広く応用されており、軽量、耐腐食性、高純度、環境に優しい特性により生産環境を最適化しています。

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    ケーススタディ|ポリマー複合材料の応用

    ボート・カセット(Boat/Cassette)またはフロント・オープニング・ユニファイド・ポッド(FOUP)の搬送設計には、主に低摩擦、高耐摩耗、帯電防止性に優れたポリマー素材製のホイールが採用されています。これらの特殊ホイールは、クリーンルーム自動搬送システム向けに特別設計されており、ウェーハの搬送中にクリーンな状態を維持し、自動マテリアルハンドリングシステム(AMHS)に正確にフィットします。